Ç¥¸é ó¸®ÇÏ´Â ÀçÁú¤ý¹æ¹ý µî¿¡ µû¶ó Â÷À̰¡ ÀÖÁö¸¸ ÀûÀýÇÑ À¯Áöȯ°æ¿¡¼ ¼ö°³¿ù, ¼ö³â Áö¼ÓÇÑ´Ù.
¾ËÄ®¸® ±Ý¼Ó ¿ë¾×¹ýÀÌ spatter etching 󸮹ý, corona ¹æÀü󸮹ý µî¿¡¼ °³ÁúµÈ ºÒ¼Ò¼öÁöÀÇ À±½À¼ºÀº ¼¼È÷ ÀҾ´Ù°í ¾Ë·ÁÁ®ÀÖÁö¸¸ ÀûÀýÇÑ È¯°æ¿¡¼ º¸Á¸µÇ´Â ÇÑ ±× ó¸®È¿°úÀÇ °¨¼Ò´Â ¸Å¿ì õõÈ÷ ÁøÇàµÈ´Ù.¾ËÄ®¸® ±Ý¼Ó¿ë¾×¹ýÀÇ Ã³¸®È¿°ú´Â º¸Á¸ »óŸ¦ ÀûÀýÈ÷ À¯ÁöÇÒ °æ¿ì ¹Ý³â °¡±îÀÌ Áö¼ÓµÈ´Ù.
´Ù¸¸ ¾ÈÁ¤ÇÑ Ç¥¸é󸮵µ ºû(ƯÈ÷ Àڿܼ±)¿¡´Â ¾àÇÏ¸ç ¹àÀº °÷¿¡ ¹æÄ¡µÇ¸é ºñ±³Àû ºü¸¥ ±â°£¿¡¼ ó¸®È¿°ú°¡ »ó½ÇµÇ´Â °ÍÀÌ ¾Ë·ÁÁ® ÀÖ´Ù. À̰ÍÀº Àڿܼ±¿¡ ÀÇÇØ ¼öÁöÇ¥¸é¿¡ µµÀÔµÈ Ä£¼ö¼ºÀÇ °ü´É±â(-OH³ª -NH2 µî)ÀÇ Å»³ ¹× ¼öÁöÇ¥¸éÀÇ Àç ºÒ¼ÒȰ¡ ÀϾ±â ¶§¹®ÀÌ´Ù.
½ÇÁ¦ ¾ËÄ®¸® ±Ý¼Ó¿ë¾× ó¸®Ç°À» Àå½Ã°£ ºû¿¡ ³ëÃâ½Ã۸é 󸮸éÀÇ ÂʺûÀÌ ¼¼È÷ Èå·ÁÁö¸ç µ¿½Ã¿¡ À±½À¼ºµµ »ç¶óÁö°Ô µÈ´Ù. ÀÌ ¶§¹®¿¡ Ç¥¸é ó¸®ÇÑ ºÒ¼Ò¼öÁö º¸Á¸ Á¶°Ç¿¡´Â ¾îµÎ¿î °÷¿¡¼ÀÇ º¸Á¸ÀÌ Àý´ëÁ¶°ÇÀ¸·Î µÇ¾î ÀÖ´Ù. ¶Ç ºûÀ» Â÷´ÜÇÑ È¯°æ°ú ´õºÒ¾î Á¢ÂøÀç µî¿¡ ÀÇÇÑ °°íËͳ·Î °íÁ¤ÇØ µÎ¸é ó¸®È¿°ú´Â ´õ¿í Àå±â°£ Áö¼ÓµÈ´Ù.
ÇÑÆí spatter etching 󸮹ýÀº ÈÇÐÀû º¯È À̿ܿ¡ ¹°¸®Àû µ¹±âÇ¥¸éÇüÅÂ)¿¡ ±âÀÎÇÏ´Â °ÍÀÌ ÀÖ´Ù. ¹°¸®Àû µ¹±â´Â Àڿܼ± Á¶»ç¿¡ ÀÇÇØ º¯ÈÇÏÁö ¾Ê±â ¶§¹®¿¡ ÀúÇÏ·üÀº ¾ËÄ®¸®±Ý¼Ó¿ë¾×¹ý°ú ºñ±³ÇØ ³·Àº °æÇâÀ» ³ªÅ¸³½´Ù.